Sistema de dos cámaras

Sistema de dosificación

Se utiliza una sonda de proximidad cuando la precisión de las dosis depende de pequeñas fluctuaciones del baño.

Ventajas:

  • no se produce óxido
  • económico

Sistema de carga

Se utiliza una sonda de inmersión en la cámara de fusión en la que surgen mayores fluctuaciones durante la carga.

Supervisión con una sonda de inmersión o de proximidad 1 sistema electrónico de control para sistema económico para ciclos de proceso sencillos:

 

Solución alternativa: Supervisión con una sonda de inmersión o de proximidad 2 sistemas electrónicos de control para poder realizar una medición flexible para ciclos de proceso independientes: